特點(diǎn)
半導(dǎo)體制造裝備、CD之類的儲存介質(zhì)等要求高清潔度的機(jī)械設(shè)備、食品加工機(jī)械、醫(yī)療器械等在衛(wèi)生環(huán)境上避開油污染的設(shè)備， XY模塊內(nèi)部的滾珠絲杠和直線導(dǎo)軌的潤滑脂飛散并附著在產(chǎn)品上造成品質(zhì)的下降。在這類機(jī)械裝備中要求潤滑脂不能污染周圍環(huán)境。
1. 采用密封皮帶減少空氣吸引以實(shí)現(xiàn)等級10
作為防塵方法的一種，采用吸入發(fā)塵物使之不外排的方法。如下圖所示采用獨(dú)立的循環(huán)式密封皮帶，與無密封皮帶相比，吸引量更低，從而減少潤滑脂的發(fā)塵實(shí)現(xiàn)等級10。
下圖是密封皮帶的構(gòu)造示意圖。
詳細(xì)請見 清潔手臂技術(shù)
2. 采用潤滑單元“NSK K1?”可實(shí)現(xiàn)長期免維護(hù)
XY模塊中采用潤滑單元“NSK K1?”的滾珠絲杠和直線導(dǎo)軌，因此在難以簡單供給潤滑劑的機(jī)械設(shè)備環(huán)境中，可以維持長期的潤滑性能。
詳細(xì)請見 “固形油”的開發(fā)及在NSK直線導(dǎo)軌上的應(yīng)用
詳細(xì)請見 NSK直線導(dǎo)軌用“NSK K1密封圈”的開發(fā)